もっと詳しく

　ニコンと東北大学多元物質科学研究所教授の蟹江澄志氏は「ミストデポジション法」と呼ぶ新しい製膜法を考案した。この新製膜法は、従来技術の1つであるスパッタ法よりも消費エネルギーを減らせて、かつ樹脂などの耐熱性が低い基板に製膜できる。