検査アルゴリズムにAIを融合した、半導体ウエハー検査装置を本格販売

東レエンジニアリングは、半導体ウエハー検査装置に「AI－ADC」を搭載した「INSPECTRA AI－ADC搭載タイプ」の本格販売を2021年8月から開始する。検査アルゴリズムにAIを融合している。