魁半導体、加熱機構搭載の真空プラズマ装置を発売

魁半導体は、真空プラズマ装置「プラズマエッチャーCPEシリーズ」として、新たにステージ加熱機構を搭載した「CPE-200AHM」の販売を始めた。加熱しない場合に比べて最大2倍の処理効果が得られるという。