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TechWatch
反応室数最大3室の電子デバイスエッチング工程向けクラスターツールシステム
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MONOist 最新記事一覧
01/07/2022
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サムコは、電子デバイス製造のエッチング工程向けに、クラスターツールシステム「クラスターH」を発売した。真空搬送プラットフォームを中心に、最大3つのプロセスモジュールの接続に対応する。
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