半導体製造プロセス向けガス精製装置の新棟を建設、生産能力1.6倍に強化

日本パイオニクスは、神奈川県の平塚工場内に、半導体製造プロセスで用いるガス精製装置の製作棟を建設する。新棟の建設により、生産能力は現行比1.6倍になる見込みで、大型ガス精製装置の需要増に対応する。