ASMLのベルリン工場火災、EUV装置用の部品製造エリアに一部影響

ASMLは2022年1月7日（オランダ時間）、同社ベルリン工場で同2日夜に発生した火災に関する予備調査の結果を発表した。同社は、EUV（極端紫外線）露光装置用のウエハークランプの製造エリアが一部、火災の影響を受けたなどとしている。