BAWフィルター用圧電薄膜の電気機械結合係数向上

早稲田大学は、スマートフォン向けBAW（バルク弾性波）フィルターにおいて、AlN（窒化アルミニウム）圧電薄膜の電気機械結合係数を、従来比で最大約1.4倍に増やすことに成功した。また、理論計算によって電気機械結合係数の向上に関するメカニズムも解明した。