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文部科学省ナノテクノロジープラットフォームは、昨年度までの約27,000件の利用課題の中からイノベーションに繋がることが期待できるなど特に秀逸な成果を選定、令和3年度「秀でた利用成果」7件を決定しました。最優秀賞には、シリコンと金属材料という汎用的な材料だけを用いて、表面プラズモン共鳴を検出できるナノ構造と、振動するMEMS構造を合わせ持つようにナノレベルの微細加工を施すことにより、検出波長を自由に選択出来る小型で高性能な赤外線センサを開発した課題が選ばれました。