半導体製造向け、アンモニア水や特定有機溶媒に対応する新型溶存酸素計

堀場アドバンスドテクノは、半導体製造向けに、新型の溶存酸素計「HD-960LR」を発売した。センサー内部に新機構を追加することで電解液の変質を抑え、アンモニア水や特定の有機溶媒にも対応可能になった。