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 米SEMI(国際半導体製造装置材料協会)は、半導体前工程製造工場に関するレポート「WORLD FAB FORECAST」の2021年第3四半期版で、半導体前工程製造装置(ファブ装置)への投資額が、21年に900億米ドルを超え、22年には1000億米ドルに接近して、連続で過去最高額を更新するとの予測を発表した。