半導体製造向け精密チラー、小型ながら冷却能力4.0kWの高出力

荏原製作所は、小型ながら冷却能力4.0kWと高出力の半導体製造プロセス向け精密チラー「RJ-SA型」を発表した。独自の小型ポンプ採用により、省スペース化のニーズに応え、サブファブスペースの効率利用をサポートする。